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簡 介:
    濕化學品、工藝化學品(Process Chemicals),是電子技術微細加工制作過程中不可缺少的關鍵性基礎化工材料之一。
    濕電子化學品在半導體制造領域的應用,主要在集成電路和分立器件制作用晶圓的加工方面,主要有清洗和蝕刻兩大類用途,在集成電路應用它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。在太陽能電池領域,濕電子化學品主要應用于電池片的制絨、清洗及刻蝕。在平板顯示器制造過程中,濕電子化學品主要用于面板制造中基板上顆粒和有機物的清洗、光刻膠的顯影和去除、電極的刻蝕等。包含通用濕電子化學品和功能性濕電子化學品。
    目前我國集成電路8英寸及8英寸以上晶圓用濕電子化學品的國產化,比率不足20%;平板顯示用濕電子化學品整體國產化率為35%,其中OLED面板及大尺寸液晶面板所需的濕電子化學品部分品種目前仍被韓國、日本和我國臺灣地區等少數電子化學品廠商壟斷。
    本報告是我們中國電子材料行業協會在全面開展對國內外濕電子化學品企業、下游應用行業情況實際調研的基礎上,掌握濕電子化學品在半導體、新型顯示、太陽能等應用的全面統計數據,重點對集成電路及平板顯示應用、市場、技術要求,分析全球濕電子化學品企業的競爭格局、市場發展趨勢、國內企業關鍵差距與短板,未來企業發展方向,國內相關政策支持,產業發展建議等,為行業企業及投資單位提供專業參考。

目  錄
 
第一章、濕化學品產品概述
(一)定義及分類
1.通用濕化學品
2.功能濕化學品
(二)標準及相關技術
1. 濕化學品SEMI標準
2. 國內濕化學品標準
3.濕化學品包裝技術
(三)濕化學品在半導體領域中的應用
1.刻蝕液
2.清洗液
3.顯影液
4.剝離液
(四)濕化學品在平板顯示領域中的應用
1.濕化學品在 TFT LCD 中的應用
2.濕化學品在 OLED 中的應用
(五)濕化學品在太陽能電池領域中的應用
1.制絨及其使用濕化學品
2.清洗及其使用濕化學品
第二章、半導體領域用濕化學品市場概況
(一)全球半導體領域用濕化學品市場概況
1.全球半導體行業現狀及發展趨勢
2.全球半導體領域用濕 化學品市場概況
(二)中國半導體領域用濕化學品市場概況
1.中國半導體行業現狀及發展趨勢
2.中國半導體領域用濕化學品市場概況
第三章、平板顯示領域用濕化學品市場概況
(一)全球平板顯示領域用濕化學品市場概況
1. 全球平板顯示產業與市場概況全球平板顯示產業與市場概況
2. 全球平板顯示領域用濕化學品市場概況全球平板顯示領域用濕化學品市場概況
(二)中國平板顯示領域用濕化學品市場概況
1. 中國平板顯示產業與市場概況中國平板顯示產業與市場概況
2. 中國平板顯示領域用濕化學品市場概況中國平板顯示領域用濕化學品市場概況
第四章、光伏太陽能電池領域用濕化學品市場概況
(一)全球光伏太陽能電池領域用濕化學品市場概況
1. 全球光伏太陽能電池產業與市場概況全球光伏太陽能電池產業與市場概況
2. 全球光伏太陽能電池用濕化學品市場概況全球光伏太陽能電池用濕化學品市場概況
(二)中國光伏太陽能電池領域用濕化學品市場概況
1. 中國光伏太陽能電池產業與市場概況中國光伏太陽能電池產業與市場概況
2. 中國光伏太陽能電池領域用濕化學品市場概況中國光伏太陽能電池領域用濕化學品市場概況
第五章、濕化學品行業競爭格局及技術發展
(一)行業歷程
(二)市場現況
(三)競爭格局
(四)技術發展
第六章、中國濕化學品行業發展
(一)總體市場需求
(二)發展總體概況
(三)支持政策與規劃
(四)國產化
(五)純度要求
(六)主要供應商
(七)最新項目
1. 江化微超高純濕電子化學品生產及再生利用項目江化微超高純濕電子化學品生產及再生利用項目
2. 晶瑞電子材料新建年產晶瑞電子材料新建年產8.78.7萬噸光電顯示、半導體用新材料項目萬噸光電顯示、半導體用新材料項目
3. 四川格林達四川格林達100kt/a100kt/a電子材料項目電子材料項目
4. 興福電子興福電子66萬噸萬噸//年芯片用超高純電子級化學品項目年芯片用超高純電子級化學品項目
5. 多氟多年產多氟多年產66萬噸濕化學品項目萬噸濕化學品項目
第七章、國內外主要濕化學品生產商
(一)歐美主要濕化學品生產商
1. 巴斯夫巴斯夫
……
12. 索爾維索爾維
(二)日本主要濕化學品生產商
1. 住友化學
……
13. Santoku化學工業公司 .
(三)韓國主要濕化學品生產商
1. 東友精細化工有限公司
……
3. ENF科技有限公司
(四)臺灣主要濕化學品生產商
1. 臺灣東應化股份有限公司
……
9. 其它濕化學品生產企業
(五)國內主要濕化學品生產商
1. 江陰江化微電子材料股份有限公司
……
29. 江蘇美陽科技有限公司江蘇美陽科技有限公司
第八章、國內濕化學品發展存在問題與建議
(一)存在問題
(二)發展建議

 

圖目錄:
圖1-1  電子化學品產業鏈
圖1-2  濕化學品在半導體制程中的應用
圖1-3  TFT-LCD剖面結構示意圖
圖1-4  TFT-LCD制作流程
圖1-5  OLED結構和發光原理
圖1-6  OLED面板制作流程
圖1-7  晶體硅太陽能電池片結構示意圖
圖1-8  從多晶硅到太陽能電池組件的工藝過程
圖1-9  太陽能電池片工藝過程及濕電子化學品的應用
圖1-11  單晶太陽能電池片制絨加工工藝流程
圖1-12   采用堿性溶液進行單晶太陽能電池片制絨加工的工藝控制要點
圖1-13   多晶太陽能電池片的制絨工藝流程
圖2-1 全球半導體市場營收(億美元)
圖2-2 全球半導體設備市場規模(億美元)
圖2-3 全球半導體用濕化學品市場規模(億美元)
圖2-4 全球半導體用濕化學品市場規模(萬噸)
圖2-5 中國集成電路產業銷售額(億元)
圖2-6 國內12英寸半導體晶圓產能產量(萬片)
圖2-7 中國半導體分立器件市場規模
圖2-8 中國半導體用濕化學品市場規模
圖2-9 中國半導體用濕化學品市場需求(萬噸)
圖2-10 2019 年國內半導體晶圓用濕化學品細分品種占比
圖3-1  2019年世界濕電子化學品市場格局
圖4-1  2010年~2019年我國濕電子化學品生產量統計
圖5-1  晶圓表面污染物示意圖
圖5-2  槽式蝕刻機晶圓蝕刻流程示意圖
圖5-3  2019年國內半導體芯片生產用各類濕電子化學品用量占總需求量比例
圖6-1  晶體硅太陽能電池片結構示意圖
圖6-2  從多晶硅到太陽能電池組件的工藝過程
圖6-3  太陽能電池片生產工藝過程
圖6-4  太陽能電池硅片工藝過程及濕電子化學品的應用
圖6-5  單晶硅絨面與多晶硅絨面對比
圖6-6  單晶太陽能電池片制絨加工工藝流程
圖6-7  采用堿性溶液進行單晶太陽能電池片制絨加工的工藝控制要點
圖6-8  多晶太陽能電池片的制絨工藝流程
圖6-9  2010年~2019年我國電池片產量變化情況
圖6-10  2019年國內各類濕電子化學品在太陽能電池片加工中需求量比例
圖7-1  TFT-LCD 剖面結構示意圖
圖7-2  TFT-LCD 制作工藝流程
圖7-3  面板薄化過程厚度變化
 
 
表目錄:
表2-1  濕電子化學品SEMI國際標準等級
表2-2  國內半導體用濕電子化學品BV系列標準
表2-3  硫酸SEMI標準(純度限定和其他要求)
表2-4  過氧化氫SEMI標準(純度限定和其他要求)
表2-5  高純鹽酸SEMI標準(純度限定和其他要求)
表2-6  各種氟樹脂材料主要性能
表3-1  境外主要濕電子化學品生產企業情況
表4-1  2019年底我國濕電子化學品主要生產企業簡況及實際產能統計
表5-1  沾污類型、來源和常用清洗功效的濕電子化學品
表5-2  半導體硅片濕法清洗中常用的濕電子化學品的品種及用途
表5-3  常用濕法刻蝕技術及濕電子化學品應用品種
表5-4  國內12英寸半導體晶圓生產中使用各種濕化學品單耗量
表5-5  國內8英寸半導體晶圓生產中使用濕化學品單耗量
表5-6  2019年我國6英寸及以上半導體晶圓生產廠家及其產能情況
表 5-7  2019年我國6英寸~12英寸半導體晶圓產量及濕電子化學品消耗量
表5-8  2019年國內半導體晶圓生產中消耗各類濕電子化學品量
表6-1  太陽能電池片清洗的工藝流程
表6-2  2019年我國太陽能電池片生產所消耗的各主要濕電子化學品量
表6-3  2019年國內太陽能電池片加工用濕電子化學品用量比例及應用工藝環節
表7-1  平板顯示制造過程中涉及濕化學品品種
表7-2  TMAH的物理性能與產品相關信息
表7-3  電子級四甲基氫氧化銨(顯影液TMAH,25.0%)主要技術指標
表7-4  TFT-LCD制作用鋁蝕刻液的主要技術指標
表7-5  ITO蝕刻液主要技術指標
表7-6  大陸地區面板產能產線分布情況(截至2016年底)
表7-7  我國內地LCD面板濕電子化學品需求量統計及預測(單位:噸/年)
表7-8  我國內地OLED面板濕電子化學品需求量統計及預測(單位:噸/年)
表8-1  2016~2021年我國三大應用市場對濕電子化學品需求量統計及預測(單位:萬噸)
表8-2  2019年我國三大應用市場對濕電子化學品需求量統計(單位:噸)
表8-3  三大應用市場對濕電子化學品需求量的比例變化及其預測
表8-4  國內濕電子化學品三大應用領域對各種濕電子化學品的純度要求
表8-5  國內半導體晶圓用各類濕電子化學品主要供應商
表8-6  國內液晶顯示面板所需各類濕電子化學品的主要提供廠商
表8-7  國內晶硅太陽能電池片所需各類濕電子化學品主要供應商